產品資訊

晶圓重生


晶呈應用乾式化學品精餾技術製造出特殊氣體後,除了供應所製造之特殊氣體給客戶外,積極進行特殊氣體應用的開發。
深入市場分析後,研發部門透過特殊氣體具有氣態蝕刻、去膜、鑽孔等特性,開發出專利氣相蝕刻設備,成功應用於矽晶圓表面蝕刻及玻璃之鑽孔。 應用於矽晶圓表面蝕刻,我們稱為“晶圓重生”。
晶圓重生主要應用於半導體產業,具有化學品用量少優勢,兼具客戶節省成本及環保節能愛護地球之功能。 應用於玻璃之鑽孔,是利用特殊氣體小分子特性,對玻璃進行鑽孔,製作導通孔玻璃晶圓“TGV, Through Glass Via”。TGV可廣泛應用於Micro LED、半導體3D封裝、MEMS、生技晶片及5G晶片等產業。
更多應用持續開發中。

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產品說明
晶圓重生
產品應用

01

蝕刻各式半導體晶片膜種和積體電路

02

8吋至12吋晶圓皆可重生

03

各式半導體晶圓洗淨

產品特點

01

晶圓重生是對各晶圓廠,廠內自行再生晶圓最好的去膜技術,且可針對環保部份大幅減少化學藥液的使用

02

晶圓重生可大幅提高測試晶圓的是用壽命,也大幅降低晶圓廠的各營運生產成本

03

晶圓重生為目前最先進的科技技術,它將成為各晶圓廠自行再生的最佳的合作夥伴

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