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特殊材料與設備相關 > Thermal spray coatings powder

Thermal spray coatings powder (熱噴塗陶瓷氧化物粉末)

Application:
熱噴塗陶瓷氧化物粉末,應用於光電面板產業及半導體產業中Dry etch、CVD、PVD等製程真空腔體內部防護元件,電漿熔射於上下電極、Gate door與E-chuck等等部件藉以保護機台本體。塗層材料可實現耐腐蝕、抗磨耗、隔熱絕緣等等功能,使用陶瓷溶射表面可以延長Chamber liner壽命,並且我司粉末產品已長期在半導體與光電面板等終端客戶大廠所應用。此外也廣範應用在鋼鐵、航空、海洋及工業熱噴塗熔射相關領域。 主要陶瓷氧化物粉末種類有Y2O3、YOF、YF3、YSZ、Al2O3、Al-Ti、Cr2O3、ZrO2等等
Description:

Powders :  

Yttrium oxide, Y2O3 99.999%  

Yttrium fluoride, YF3 99.999%  

YSZ, Yttria stablized Zirconia (Y-3mol, 5mol, 8mol)  

Aluminum oxide, 99.99%-99.999%  

Chromium oxide   

Al-Ti composite   

Al-Si.... composite     

粒度: D50 15-45um  

製造工藝:團聚/燒結  

用途:熱噴塗領域

 

Feature:
 

晶呈科技股份有限公司 Ingentec Corporation
35059苗栗縣竹南鎮公義路462巷58號  TEL : +886-37-585-218  FAX : +886-37-585-219 
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