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特殊材料與設備相關 > Mass flow meters and Controllers

MFC & MFM

Application:
Accurate Mass Flow Control is the key point of precision industries. Especially in the CCFL making. It is also the key component of the gas related equipments such CVDs, dry etchings, plasmas or even high accuracy temperature control systems. KOFLOC is also standard Mass Flow Meter provider for world wide large Dry Pump Makers.
Description:
精準的氣體質流流量控制是各種精密工業過程中,必須要掌握的重點。在冷光陰極管的燒製過程中,更是不可或缺的重要設備。另外也廣氾的運用在各種與氣體相關的設備諸如CVD機台,乾蝕刻機台,電漿相關設備,甚至精密溫控系統。

正確なマスフローコントロールは、精度産業のキーポイントです。特にCCFL(冷陰極管蛍光ランプ:Cold Cathode Fluorescent Lamp-CCFL)作成において、CVDs、ドライエッチング、プラズマまたは高精度温度制御システムなど、ガス関連の器材の重要な構成要素でもあります。
Feature:
Provides models from Top of the Line, to the most efficient and convenient.
KOFLOC provide selections with many types and detailed flow ranges. Many large equipment manufacture cooperate with and have special specification models, it is also available to order from us.
 
質流量控制器
 
自最高精密度與安全性等級的產品,直至最經濟超值的機種,KOFLOC逐一分類並提供流量範圍極為精準的選擇。多年來在業界的耕耘,在許多日系機台內也都是使用特別向KOFLOC訂製的機種,皆可直接訂購。
 
マスフローコントローラー/マスフローメータ(MFC/MFM):
 
最高クラスから最も経済的でお手軽なものまで。KOFLOCは多くの選択肢と詳細な流量を与えます。
多くの大型装置製造が提携し、特別仕様モデルがあり、それは我々から注文することも可能です。
 

KOFLOC 是國際知名 Dry Pump 大廠的流量計標準供應商。


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