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特殊材料與設備相關 > Chiller

Chiller

Application:
Developed by FST, the Temperature control system is applied in CVD and Etcher for temperature control to get stable process window. FST開發之溫控設備主要應用在薄膜沉積設備及蝕刻設備之溫度控制使製程穩定.   FSTによって開発されたチラー(冷却装置)はCVD(化学気相成長)装置及びエッチング装置の温度制御に利用され、製造プロセスを安定させます。
Description:
High reliability, Reasonable price
 
溫控設備
 
設備穩定性高,價格公道。
 
チラー(冷却装置)
 
1. 温度安定性が高い
2. 適切な価格
Feature:
 

晶呈科技股份有限公司 Ingentec Corporation
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